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捷創力高儀器有限公司
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手動探針臺 你當前的位置:首頁 - 產品信息
日本Apollowave 阿波羅微波α-100 手動探針臺
所屬類別:手動探針臺
產品簡介:Offer the new standard model of alfa series with high operational advanced performance
  • 產品特點
  • 產品參數
  • 應用說明
  • 功能配置
  • 資源下載

1 探針臺主機:α-100

   1.1 適用:      4英寸及以下晶圓或芯片

    1.2   X軸:     粗調行程:100mm

            粗調方式:自鎖式推拉桿

            微調行程:13mm

            微調方式:千分尺控制

            控制分辨率:10um

1.3   Y軸:    粗調行程:120mm

            粗調方式:自鎖式推拉桿

            微調行程:13mm

            微調方式:千分尺控制

            控制分辨率:10um

1.4   Z軸:    移動量:5mm

            粗調行程:5mm,精度:±10%以內

            微調行程:0.3mm,精度:±20%以內

1.5   θ軸:    移動量:±10°以上

1.6   平行度:  對載物臺 30um以內

1.7   尺寸:    400W×360D×330H) 不含突出部

1.8   重量:    25kg

1.9   真空壓    小于-65kPa(用于晶圓吸附)

1.10  壓縮空氣:0.4-0.5MPa

1.11  使用環境:溫度23℃±5℃,濕度20%-80%(無結霜)
Achieve the smooth stage movement with quick
  position 
・Smooth workability with 3 steps switching for Z lever
・Adopted the free arm that enables the microscope  
  to operate with wide range
・Enable to upgrade the hot chuck and other
  accessories by easy replacement function,
・It can be customized with variety of options

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